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URE-2000/35型紫外(wài)光刻機

簡要描述：URE-2000/35型紫外(wài)光刻機，采用(yòng)三柔性支點實現(xiàn)高(gāo)精度自(zì)動調平；真空(kōng)接觸自(zì)動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、複位實現(xiàn)自(zì)動化控制。

産品型号：
廠(chǎng)商性質：生産廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2024-06-04
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芯片加工(gōng)設備

激光切割機熱壓鍵合機等離子清洗機光刻機

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品牌	其他(tā)品牌	價格區(qū)間	面議(yì)
儀器種類	微流控芯片系統	應用(yòng)領域	醫(yī)療衛生,環保,電子

産品名稱：URE-2000/35型紫外(wài)光刻機

主要技術指标：

曝光面積：100mm×100mm

分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）

對(duì)準精度：±0.8μm

大(dà)膠厚：300μm（SU8膠）

掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch

樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展爲15mm)；

照明(míng)均勻性：±4%（Ф100mm 範圍）

汞燈功率：350W（直流）

掩模相對(duì)于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

URE-2000/35型紫外(wài)光刻機技術特點：

創新采用(yòng)三柔性支點實現(xiàn)高(gāo)精度自(zì)動調平；真空(kōng)接觸自(zì)動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、複位實現(xiàn)自(zì)動化控制；采用(yòng)積木(mù)錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高(gāo)均勻照明(míng)；可連續設定分離間隙；采用(yòng)雙目雙視(shì)場顯微鏡實現(xiàn)高(gāo)對(duì)準精度。整機具有性能(néng)可靠、操作(zuò)方便、自(zì)動化程度高(gāo)等特點。

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