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    微納結構三維形貌測量儀

    更新時(shí)間：2024-06-04

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    微納結構三維形貌測量儀系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白(bái)光幹涉掃描原理(lǐ)，以光波長作(zuò)爲測量基準，利用(yòng)納米級高(gāo)精度掃描系統結合具有自(zì)主知(zhī)識産權的高(gāo)精度解析算(suàn)法，實現(xiàn)連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理(lǐ)、微觀尺寸等各類外(wài)觀參數測量結果。
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